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蓝宝石振动研磨机的工艺流程你知道吗?



     蓝宝石衬底具备硬度高且脆的特点,蓝宝石振动研磨机在研磨加工时非常容易破碎,塌边,产生划痕等,所以要达到相当高的精度更是难上加难。蓝宝石衬底抛光机的工艺也是相当严谨和精细。
实际使用中的各种晶 片,都是由晶棒切割加工制成,在用内圆切片机或线切割机将半导体晶棒切割成晶片时,因蓝宝石振动研磨机切割条件总会有变化,切割片在厚度和平整度等方面都存在偏差。如果切 割条件不合适,还会造成较深的损伤层。晶片抛光过程中表面去除量很小,所以需要用蓝宝石振动研磨机来有效改善晶片的弯曲度、平整度与平行度的偏差,并降低损伤层厚度。
蓝宝石振动研磨机的工艺流程是:
1第一步:下料----磨削外周----周边倒角----斜面磨削
2.蓝宝石衬底粘贴到盘上----磨削平面----手工清洗----斜面抛光
3.第三步,镜面研磨----手工清洗----研磨平面----手工清洗
4.第四步,蓝宝石衬底下盘----手工清洗----抛光----清洗----检查表面质量。
由以上蓝宝石振动研磨机的工艺流程可以看出蓝宝石衬底的研磨和抛光以及清洗都是要经过严谨的程序,一步一步实施的。这些都是因为蓝宝石振动研磨机的特殊材质所成。
振动研磨机
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